เมื่อเร็ว ๆ นี้สถาบัน Microsystem ของเซี่ยงไฮ้และเทคโนโลยีสารสนเทศของ Chinese Academy of Sciences ได้พัฒนา MEMS ที่มีประสิทธิภาพสูงกระจกสะท้อนแสงอย่างรวดเร็วพร้อมเซ็นเซอร์มุมแบบบูรณาการ กระจกมีขนาดใหญ่ปริมาณแพ็คเกจขนาดเล็กประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมและศักยภาพที่ยอดเยี่ยมในการสื่อสารด้วยเลเซอร์ดาวเทียม
กระจกสะท้อนแสงอย่างรวดเร็วใช้เวลาเกือบห้าปีในการพัฒนา มันใช้การรวมตัวกันที่แตกต่างกันสองชั้นและเทคโนโลยีพันธะระดับเวเฟอร์และปริมาณของมันมีเพียงขนาดของเหรียญ 1- หยวน
มันเอาชนะคอขวดทางเทคนิคของกระจกสะท้อนแสงแบบดั้งเดิมและกระจกสะท้อนแสงแบบดั้งเดิมที่สะท้อนแสงอย่างรวดเร็วสร้างผลิตภัณฑ์เกรดอวกาศที่มีความแม่นยำในการชี้ของμradพบกับตัวชี้วัดประสิทธิภาพสูงเป็นพิเศษของแอปพลิเคชันที่เกิดจากดาวเทียม
แรงบันดาลใจจากหน้าจอโทรศัพท์มือถือทีมใช้หลักการสายพันธุ์ซิลิคอน piezoresistive เพื่อรวมเซ็นเซอร์มุมบนชิปและผ่านนวัตกรรมโครงสร้างความไวเพิ่มขึ้น 63%เพิ่มความแม่นยำของการควบคุมลำแสง
ผลการทดสอบแสดงให้เห็นว่าที่ความถี่เฉพาะความแม่นยำของมุมเป็นไปตามมาตรฐานและการเปลี่ยนรูปแบบพื้นผิวแบบไดนามิกสูงสุดเพียง 2 นาโนเมตร
อย่างเป็นทางการทำให้การเปรียบเทียบซึ่งเทียบเท่ากับการขึ้นและลงทั้งหมดบนกระจกขนาดของสนามฟุตบอลไม่เกินเส้นผ่านศูนย์กลางของเส้นผมตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของการสื่อสารด้วยเลเซอร์ดาวเทียมทางไกลบนพื้นผิวกระจก
