อย่างที่เราทราบกันดีว่า มีผู้ผลิตเพียงรายเดียวในโลกที่สามารถผลิตการพิมพ์หิน EUV ได้ นั่นคือASML ของเนเธอร์แลนด์.
สาเหตุที่มีผู้ผลิตเพียงรายเดียวในโลกคือ ASML ได้ผูกมัดผู้ผลิตรายใหญ่หลายรายเข้าด้วยกัน เช่น Zeiss (Zeiss) บริษัทออพติคของเยอรมัน Cymer (USA) และTRUMPF (เยอรมนี)
ASML ได้เชื่อมโยงผู้ผลิตเหล่านี้เข้ากับรถรบผ่านการลงทุน การซื้อกิจการ การถือหุ้น การจัดตั้งศูนย์วิจัย และอื่นๆ และผู้ผลิตเหล่านี้น่าจะเป็นผู้ผลิตเพียงรายเดียวในโลกที่สามารถผลิตผลิตภัณฑ์เหล่านี้ได้ ดังนั้นในท้ายที่สุดมีเพียง ASML ในโลกเท่านั้นที่สามารถทำได้ ผลิตการพิมพ์หิน EUV
อย่างไรก็ตาม เมื่อเร็ว ๆ นี้ ห่วงโซ่อุปทานที่สำคัญของ ASML ได้วิ่งไปที่เซินเจิ้น ประเทศจีน เพื่อสร้างโรงงาน บริษัทสาขาในเซินเจิ้นได้ตั้งรกรากอยู่ใน Baoan Sino-German Industrial Demonstration Park
ผู้ผลิตรายนี้คือ TRUMPF Group (TRUMPF) ของเยอรมนี และเป็นผู้ผลิตการพิมพ์หิน EUV ของ ASML ซึ่งเป็นผู้จัดหาแหล่งเลเซอร์เพียงรายเดียวในโลก
ผลิตภัณฑ์ TRUMPF ในการพิมพ์หิน EUV สำคัญอย่างไร? ก่อนอื่น ฟังฉันอธิบายหลักการของการพิมพ์หิน EUV คุณจะเข้าใจ
หลักการของการพิมพ์หิน EUV พูดง่ายๆ คือมีศูนย์กลางอยู่ที่ระบบหลักสามระบบ ได้แก่ ระบบแหล่งกำเนิดแสงอัลตราไวโอเลต EUV ระบบกระจกส่องวัตถุ และระบบโต๊ะ
กระบวนการเฉพาะคือการใช้เลเซอร์เพื่อกระตุ้นความยาวคลื่น 13.5 นาโนเมตรของแสงอุลตร้าไวโอเลต ซึ่งได้รับการแก้ไขแล้วเพื่อสร้างลำแสงควบคุม ซึ่งฉายลงบนโต๊ะโฟโต้มาสก์ก่อนที่จะฉายผ่านกระจกใกล้วัตถุไปยังโต๊ะรับแสง และสุดท้ายก็สลักเป็นวงจรบนเวเฟอร์ซิลิคอนที่เคลือบด้วยโฟโตเรสซิสต์
วิธีหนึ่งของระบบแหล่งกำเนิดแสง EUV UV ได้มาจากการทิ้งละอองโลหะดีบุก (Sn) ด้วยเลเซอร์ CO2 กำลัง 30 กิโลวัตต์ ระเหยเป็นพลาสมา และได้รับแสง EUV ที่ความยาวคลื่น 13.5 นาโนเมตรในที่สุด
เลเซอร์ CO2 ขนาด 30 กิโลวัตต์นี้จัดทำโดย TRUMPF ซึ่งเป็นเครื่องเดียวในโลก
อย่าประเมินเลเซอร์ CO2 นี้ต่ำไป เพราะมีชิ้นส่วน 457,329 ชิ้น ความยาวสายเคเบิลในระบบสูงถึง 7,322 เมตร และน้ำหนัก 17,090 กิโลกรัม ซึ่งเป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักที่สำคัญที่สุดในการพิมพ์หิน EUV
ตอนนี้ TRUMPF วิ่งไปที่จีนเพื่อสร้างโรงงาน ความตั้งใจนั้นชัดเจน กล่าวคือ มองตลาดเลเซอร์ของจีนในแง่ดี และมองในแง่ดีในระยะยาว มองตลาดการพิมพ์หินของจีนในแง่ดี อนาคตอาจร่วมมือกับจีนสร้างการพิมพ์หิน EUV .
อันที่จริง มีห่วงโซ่อุปทาน ASML มากกว่าหนึ่งแห่งที่วิ่งไปจีนเพื่อสร้างโรงงาน มี KMWE และผู้ผลิตรายอื่นที่ไปยังจีนเพื่อสร้างโรงงานด้วย
ตามแนวโน้มปัจจุบัน เราสามารถคาดหวังในแง่ดีว่าอาจไม่นานก่อนที่เทคโนโลยีการพิมพ์หินของจีนจะก้าวไปข้างหน้าอย่างก้าวกระโดด และแม้แต่ปริมาณการพิมพ์หิน EUV ที่ส่งออก คุณก็คาดหวังเช่นกัน?
