เลเซอร์เป็นหนึ่งในสิ่งประดิษฐ์ที่สำคัญของวิทยาศาสตร์ธรรมชาติของศตวรรษที่ยี่สิบ ในปี 1960 มีการผลิตเลเซอร์ครั้งแรกในโลก ต่อจากนั้นเลเซอร์ที่มีการเชื่อมโยงกันที่ดีมุมศัตรูขนาดเล็กและความเข้มข้นของพลังงานสูงมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านต่างๆเช่นเลเซอร์ตั้งแต่การประมวลผลเลเซอร์และการสื่อสารเลเซอร์ ในช่วงต้นทศวรรษ 1980 ผู้คนเริ่มใช้ลำแสงเลเซอร์พลังงานสูงเพื่อส่องสว่างพื้นผิวของชิ้นงานทำให้พื้นผิวของสิ่งสกปรกสนิมหรือเคลือบเพื่อระเหยหรือลอกออกทันทีและลบสิ่งที่แนบหรือเคลือบบนพื้นผิวของ วัตถุด้วยความเร็วสูง กระบวนการทำความสะอาดพื้นผิวของวัสดุคือการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์ ตั้งแต่สิบปีที่ผ่านมาการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์ได้ย้ายจากห้องปฏิบัติการไปยังการใช้งานจริงที่ใช้ในแม่พิมพ์ผลิตภัณฑ์ยางต่าง ๆ แม่พิมพ์ผลิตภัณฑ์ซิลิโคนเพื่อขจัดคราบน้ำมันสนิมพระธาตุทางวัฒนธรรมแผงวงจรไมโครอิเล็กทรอนิกส์และการทำความสะอาดวัสดุอื่น ๆ ผลประโยชน์ทางสังคม
ในช่วงกลางทศวรรษ 1980 เพื่อตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมการผลิตเพื่อกำจัดอนุภาคขนาดเล็กบนหน่วยความจำการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์ได้รับความสนใจอย่างกว้างขวางและการวิจัยและได้รับการยอมรับอย่างเป็นทางการว่าเป็นวิธีการทำความสะอาดที่มีประสิทธิภาพ วิธีการทำความสะอาดแบบธรรมดาเช่นการทำความสะอาดเชิงกลการทำความสะอาดด้วยสารเคมีและการทำความสะอาดด้วยคลื่นเสียงเพื่อกำจัดอนุภาคซับไมครอนที่ติดอยู่กับแม่แบบนั้นน้อยกว่าอุดมคติ เนื่องจากแรงดูดซับของอนุภาคบนเทมเพลต (แรงแวนเดอร์วาลส์, ไฟฟ้าสถิต) เป็นต้นน่าทึ่งมากเช่นอนุภาคที่มีขนาด 1 ไมครอนแรงดูดซับของมันบนพื้นผิวของเทมเพลตอยู่ที่ประมาณ 106 เท่าของมัน แรงโน้มถ่วงและวิธีการทำความสะอาดเชิงกลไม่สามารถทำได้ การกำจัดอนุภาคขนาดเล็กการทำความสะอาดทางเคมีสามารถนำไปสู่การกัดกร่อนและการปนเปื้อนของแม่แบบ การทำความสะอาดด้วยอัลตราโซนิกต้องใช้เทมเพลตที่วางไว้ตรงกลางของการสั่นสะเทือนของโซนิคซึ่งจะทำให้เทมเพลตแตกออก การทำความสะอาดด้วยเลเซอร์นั้นเกิดขึ้นภายใต้สถานการณ์ดังกล่าว ในกรณีนี้ผู้คนเริ่มศึกษาอย่างเป็นระบบ: การปรากฏตัวของมันได้แก้ไขปัญหาการปนเปื้อนบนพื้นผิวของแม่แบบและด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีการทำความสะอาดเลเซอร์มันยังถูกใช้อย่างกว้างขวางในด้านอื่น ๆ อีกมากมาย
ในช่วงปลายทศวรรษ 1980 นักวิทยาศาสตร์พบว่าการปกคลุมพื้นผิวของสารตั้งต้นด้วยชั้นเสริมเหลวนั้นเอื้อต่อการกำจัดอนุภาคที่ปนเปื้อนออกไป ในหมู่พวกเขาน้ำนั้นเป็นชั้นเสริมที่มีประสิทธิภาพ วิธีการครอบคลุมพื้นผิวของบทความที่จะทำความสะอาดด้วยฟิล์มของเหลวที่มีความหนาของคำสั่งของมิลลิเมตรและฉายรังสีด้วยเลเซอร์เพื่อกำจัดอนุภาคที่ปนเปื้อนคือสิ่งที่เราเรียกภายหลังการทำความสะอาดเลเซอร์ด้วยไอน้ำ (เปียก) เปรียบเทียบกับ ชนิดแห้ง การทำความสะอาดด้วยเลเซอร์การทำความสะอาดด้วยเลเซอร์มีประสิทธิภาพการทำความสะอาดที่สูงขึ้น ไม่ใช่จนกระทั่งต้นทศวรรษ 1990 ที่การทำความสะอาดเลเซอร์เข้าสู่การผลิตเชิงอุตสาหกรรมจริงๆ ในความเป็นจริงเกือบในปี 1987 กลุ่มวิจัยสามกลุ่มได้ค้นพบผลกระทบของการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์อย่างอิสระ ในบรรดาพวกเขาทีมวิจัยนำโดย Zapka ได้รับสิทธิบัตรครั้งแรกในการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์ อีกกลุ่มวิจัยคือสถาบัน Max Planck สำหรับชีวเคมีและฟิสิกส์ใน Toku นักวิทยาศาสตร์แม่แบบซิลิคอนถูกปกคลุมด้วยอนุภาคทองคำที่มีขนาด 35 นาโนเมตรแล้วเลเซอร์โมเลกุลไนโตรเจนถูกฉายรังสีลงบนพื้นผิวของแข็งโดยตรงและเป็นผลให้ อนุภาคทองบนพื้นผิวถูกลบออกเรียบร้อยแล้วในขณะที่แม่แบบซิลิคอนไม่เสียหายแสดงว่าเลเซอร์ถูกใช้ในการทำความสะอาดพื้นผิวที่เป็นของแข็ง อนุภาคที่ปนเปื้อนเป็นไปได้
ในปี 2544 Fourrier และผู้ร่วมมือได้ทำการทดลองทำความสะอาดด้วยไอน้ำเลเซอร์บนอนุภาคที่มีรูปร่างขนาดและวัสดุต่าง ๆ เพื่อค้นหาความเข้มของแสงเลเซอร์ที่จำเป็นสำหรับอนุภาคที่แตกต่างกันในช่วงนาโนเมตร ขีด จำกัด เหมือนกัน "เกณฑ์ที่สอดคล้องกันอย่างกว้างขวาง" นี้ให้การสนับสนุนที่ดีกว่าสำหรับการใช้งานทำความสะอาดด้วยไอน้ำเลเซอร์เพื่อกำจัดอนุภาคย่อยไมครอน แม้ว่าการพัฒนาการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์จะขึ้นอยู่กับการทำความสะอาดอนุภาคของแข็งขนาดเล็กบนพื้นผิว แต่งานวิจัยเกี่ยวกับการใช้งานอื่น ๆ ได้ดำเนินการตามนั้น ตัวอย่างเช่นในปี 1970 หลังจากการวิจัยและการทดลองพบว่าเลเซอร์กำลังทำความสะอาดอาคารประวัติศาสตร์และงานศิลปะ มีความเป็นไปได้ ในปี 1992 ยูเนสโกประสบความสำเร็จในการใช้การทำความสะอาดด้วยเลเซอร์เพื่อซ่อมแซมวิหาร Yasmin ในอังกฤษ บางประเทศในยุโรปยังใช้เลเซอร์ทำความสะอาดวิหารอาเมียงส์ (ฝรั่งเศส), มหาวิหารเซนต์สเตฟาน (เวียนนา, ออสเตรีย), สุสานทหารนิรนาม (วอร์ซอ, โปแลนด์) การประยุกต์ใช้เลเซอร์ในการปอกยังดึงดูดความสนใจของนักวิจัย Woodroffe และคณะ ในสหรัฐอเมริกาได้ทำงานมากมายในพื้นที่นี้
ในปี 1990 นักวิจัยในเยอรมนีและญี่ปุ่นได้พัฒนาเลเซอร์ TEA-CO2 กำลังสูงสำหรับการลอกสีด้วยเลเซอร์และใช้มันเพื่อทำการทดลองหลาย ๆ ชุด จนกระทั่งปี 2005 นักวิจัยได้ตีพิมพ์บทความเกี่ยวกับการลอกเครื่องบินด้วยเลเซอร์ TEA-CO2 กำลังแรงสูง นักวิทยาศาสตร์จากหลายประเทศได้ทำการวิจัยเชิงสำรวจมากมายเกี่ยวกับการใช้แม่พิมพ์ยางการรักษาพื้นผิวขยะอวกาศและด้านอื่น ๆ และได้ผลลัพธ์ที่น่าทึ่ง
