ระบบทำความสะอาดเลเซอร์สำหรับการทำความสะอาดเครื่องมือ PVD สามารถกำจัดสารเคลือบผิวหลายชั้นได้อย่างมีประสิทธิภาพไม่เกิดความเสียหายทางกลไม่มีความเสียหายต่อพื้นผิวการเชื่อมหรือการปิดผนึกลดรอบเวลาการทำความร้อนไม่มีสารเคมีสิ่งแวดล้อมและสารเคมี การทำความสะอาดห้องจะเสร็จสมบูรณ์ในเวลาเพียงไม่กี่ชั่วโมง
เทคโนโลยีการทำความสะอาดด้วยเลเซอร์สามารถกำจัดคราบสกปรกที่ยากที่สุดในการทำความสะอาดรวมถึงการเคลือบคาร์บอนเช่นเพชรและการเคลือบอื่น ๆ ที่ทนต่อการสึกหรอ พลังของเลเซอร์แบบรวมนี้จะระเหยกลายเป็น "สารเคลือบกันกระสุน" ในที่สุดพื้นผิวโลหะที่มีความแม่นยำสามารถทำความสะอาดได้อย่างปลอดภัยและไม่มีความเสียหายและไม่มีสารตกค้าง ห้องพลาสมาสามารถควบคุมด้วยตนเองหรือกึ่งอัตโนมัติภายใต้การเคลือบด้วยเลเซอร์ที่มีประสิทธิภาพขณะทำความสะอาด
การสะสมไอน้ำทางกายภาพ PVD หมายถึงกระบวนการถ่ายโอนสารหรือโมเลกุลจากแหล่งกำเนิดไปยังพื้นผิวของสารตั้งต้นโดยกระบวนการทางกายภาพ ฟังก์ชั่นของมันคือการทำให้อนุภาคบางอย่างมีคุณสมบัติพิเศษ (ความแข็งแรงสูง, ความต้านทานการสึกหรอ, การกระจายความร้อน, ความต้านทานการกัดกร่อน, ฯลฯ ) สเปรย์ที่ร่างกายแม่ที่มีประสิทธิภาพต่ำกว่า ในกระบวนการนี้เลเยอร์แลคเกอร์พ่นไม่เพียง แต่ยึดติดกับพื้นผิวเป้าหมาย แต่ยังรวมเข้ากับพื้นผิวของเครื่องมือและอุปกรณ์ติดตั้งที่ใช้ยึดชิ้นส่วนภายในห้องปฏิกิริยา ระบบทำความสะอาดเลเซอร์สามารถทำความสะอาดพื้นผิวของเครื่องมือ PVD ได้อย่างมีประสิทธิภาพหลีกเลี่ยงผลกระทบของวัสดุเคลือบ PVD ที่มากเกินไปเช่นการลดความทนทานของชิ้นงานการปิดผนึกที่ไม่ดีของห้องปฏิกิริยาทำให้ความชื้นเพิ่มขึ้นและเวลาทำความร้อนนานขึ้น
